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XITON PHOTONICS-激光系统-IXION 193 SLM 【可靠性】

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加工类型:剥线

XITON PHOTONICS-激光系统-IXION 193 SLM

产品型号:IXION 193 SLM

产品介绍XITON PHOTONICS是泵浦固态激光器与非线性光学器件的专家。XITON PHOTONICS开发并制造了几乎任何所需波长的可靠激光系统,波长范围从深紫外185nm到中红外5?m。XITON PHOTONICS是一家位于德国的全球运营公司,拥有超过15年的经验。IXION 193 SLM是一种单频全固态激光系统,用于光学计量、193nm步进光学器件的校准或高功率ArF准分子激光器的带宽控制等应用。该系统的波长可在185至194nm之间的范围内定制,并且可以在购买时预先配置为固定波长。作为一种选择,将具有0.001nm光谱精度的高精度光谱仪集成到系统中。这允许大限度地控制激光器的光谱调谐。

性能特点

可靠性

参数:

产地:德国

波长:193.368 nm

平均功率:10mW

脉冲持续时间:典型值8-12 ns

每脉冲能量:1.6?J

重复频率:1-15 kHz

光束质量:M?<1.6

频谱带宽:<80 MHz

光谱可调谐性:>10pm

相干长度:>2 m

脉冲对脉冲刺入.:σ<2.5%


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