加工类型:剥线 |
XITON PHOTONICS-激光系统-IXION 193 SLM
产品型号:IXION 193 SLM
产品介绍:XITON PHOTONICS是泵浦固态激光器与非线性光学器件的专家。XITON PHOTONICS开发并制造了几乎任何所需波长的可靠激光系统,波长范围从深紫外185nm到中红外5?m。XITON PHOTONICS是一家位于德国的全球运营公司,拥有超过15年的经验。IXION 193 SLM是一种单频全固态激光系统,用于光学计量、193nm步进光学器件的校准或高功率ArF准分子激光器的带宽控制等应用。该系统的波长可在185至194nm之间的范围内定制,并且可以在购买时预先配置为固定波长。作为一种选择,将具有0.001nm光谱精度的高精度光谱仪集成到系统中。这允许大限度地控制激光器的光谱调谐。
性能特点:
可靠性
参数:
产地:德国
波长:193.368 nm
平均功率:10mW
脉冲持续时间:典型值8-12 ns
每脉冲能量:1.6?J
重复频率:1-15 kHz
光束质量:M?<1.6
频谱带宽:<80 MHz
光谱可调谐性:>10pm
相干长度:>2 m
脉冲对脉冲刺入.:σ<2.5%